當前的幾個熱點問題潔凈室技術應用
一.前言
潔凈室的氣流速度/換氣次數,一直是潔凈室設計中受到關注的問題,隨著潔凈室污染源的控制效果增加及末級過濾器效率的提高等,對有關規范、導則等提出的推薦或參考值是否偏于保守,已有不少討論;FFU在應用中人們擔心的噪音、損壞維修等問題已在實踐中得到解決,隨著FFU的不斷改進,對是否采用FFU回風系統也是個熱點:懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC工業中已日益提到日程上來,受到關注。以下對這些問題的情況分別作歸納和分析。
二.氣流速度
2.1有關推薦或參考值的應用
潔凈室內一定潔凈度下氣流速度的確定,隨潔凈室用途等具體情況而異,它不僅受室內發塵量及過濾器效率還受其他因素影響,就工業潔凈室而言,影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是:
(1)室內污染源:建筑物組件、人員數量及操作活動、工藝設備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源,根據具體情況而異,變化很大;
(2)室內氣流流型及分布:單向流要求均勻、平等的流線,但會受到工藝設備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合,避免死角及溫度分層;
(3)自凈時間(恢復時間)的控制要求:潔凈室中事故釋放或帶入污染物或空氣氣流的中斷或正常操作時的間歇性對流氣流或人及設備的移動等都會造成潔凈度的惡化,恢復到原來潔凈度的自凈時間決定于氣流速度;對自凈時間的控制要求取決于此時間框架內(惡化的潔凈度下),對產品生產的質量及成品率影響的承受能力;
(4)末級過濾器的效率:在一定的室內發塵量下,可采用較高效率的過濾器以降低氣流速度;為節能應考慮采用較高效率的過濾器,并降低氣流速度,或采用較低效率的過濾器并采用較高的氣流速度,以求流量與阻力的乘積最小;
(5)經濟性考慮:過大的氣流速度造成投資及運行費用的增加,合適的氣流速度為以上諸因素合理的綜合,過大往往不必要,亦不一定有效果;
(6)對潔凈度要求低的潔凈室,有時換氣次數決定于室內排熱的要求。
以上因素,皆很難量化,只能分析對比并估計。因此在工程應用中,對潔凈室的氣流速度往往參照有關規范、導則等的推薦或參考值,再按具體情況估計以上各影響因素進行綜合考慮后確定。
氣流速度用于單向流潔凈室;非單向流潔凈室宜用換氣次數,因為其氣流速度難于測準;亦有用末級過濾滿布率來反映的,可用于各種氣流流型的潔凈室,一般滿布率100%相對于流速0.5m/s(100fpm),25%相對于0.125m/s(25fpm)。當前有關規范、導則等的推薦或參考值見表1。
注:1、ISO14644-4對于氣流速度/換氣次數是明確作為參考資料的,表中所列僅適用于微電子及IC工廠;對制藥廠只列ISO5級氣流速度>0.2m/s,對ISO6~8級皆未列出參考值。
2、(M)指混合流,N指非單向流;*指對污染源已采取有效的隔離措施的潔凈區。
表1中有關氣流速度和換氣次數的推薦或參考值,應該說是經驗的反映。如ISO/DIS14664-4提出的數值皆明確適用于那類潔凈室的;IEST的推薦值亦是被一些權威機構認為僅適用于半導體工廠。由于具體情況變化較大,有的經驗值可能已不適合當前的室內塵源控制措施及過濾器效率提高的情況。
2.2對有關推薦或參考值的討論
近年來不少人通過實驗認為這些推薦或參考值過于保守,其論點可歸納為:
(1)潔凈室內氣流的橫向擴散只在甚低的流速下才有可能,單向流在合理的氣流組織下,流速0.05~0.1m/s就足夠帶走污染物,在此流速下亞微米粒子的擴散性能遠低于對流性能;而大于0.36m/s的氣流速度反而易千百萬渦流,引起污染物的再卷入。因此,潔凈室的理想自凈時間Tr=體積/流率,到一定值后由于污染物的再卷入,再增大氣流速度,實際的Tr并不再有明顯的減少。
(2)末級過濾器的效率對潔凈度的影響是值得起注意的。有的氣流速度/換氣次數推薦或參考值對末級過濾器效率提高的因素往往沒作考慮。當前HEPA/ULPA的效率從99.67%、99.99%、99.999%、99.9995%直至8個9以上都可選擇。其效率對氣流速度的影響除以上已提及外,以下方面亦值得引起注意,在非單向流情況下,按衡釋原理的潔凈室內含塵濃度穩定公式可以得出:
(a)室內發塵量較高時,末級過濾器效率的變化對潔凈度影響甚微,因此在這種情況下,過高的過濾效率是無必要的。
(b)室內發生塵量較低的情況下,采用低的氣流速度下,末級過濾器效率的變速器變化,對潔凈度的影響增大。
以上情況可以引用的圖1a~1c看出。
作圖有關數據:
新風進末過濾器前的含塵濃度1.75×106個/m3
室內發生量:G1=350個/m3.min
G2=3500個/m3.min
G3=35000個/m3.min
G4=350000個/m3.min
新風量對于全空氣量的比率0.03
當前有的IC工廠其ISO5級(0.3μm)的潔凈室,采用FFU系統,帶ULPA(99.9995%,0.12μm),出口風速為0.38m/s,其滿布率為25%,這樣室內平均氣流速度為0.095m/s,在各有關推薦或參考值的下限下。此潔凈室的工藝加工在微環境內潔凈室內的人員亦較少,可以認為潔凈室內發生較低,這種情況下采用低的氣流速度可能是可取的。
據報道,目前IEST對潔凈室內氣流速度推薦值的下限有所降低,如:
≤ISO5級:氣流速度0.2~0.5m/s;
ISO6級或5級(非單向流);換氣次數>200次/h;
ISO7級:換氣次數20~200次/h;
ISO8級:換氣次數2~20次/h;
三.FFU系統的應用
3.1當前FFU的情況
FFU在使用壽命及維護上已經實踐證明無可擔心。當前其改進主要是:
(1)采取均流及減少噪音的措施,噪音可在50db以內;
(2)電動機采用DC/EC(電子整流電機),以耗較原交流電機節約近50%,因為小風機所用小容量(功率<1/2HP)的交流電機,一般皆為電容分相式或隱極式,其效率僅40%左右,而DC/EC電機的效率可達75~80%;在調速控制上可每臺單獨的以過濾器降壓進行控制以節約能耗,但目前投資回收期尚長而未廣泛采用,一般常用分組群控或全部群控。
(3)但FF瓣出口靜壓不能過大,一般采用出口風速成0.38m/s,此時其靜壓一般在250Pa以內。
3.2FFU回風系統與其他方式相比的優點
3.2.1一般評價
優點:
(1)靈活性大,便于改造;
(2)占用建筑物空間較少;
(3)潔凈室內空氣壓力大于回風靜壓室,排除靜壓室對潔凈室污染的可能性。
缺點:
(1)要求回風道全部阻力(包括多孔地板、格柵及風道)、干表冷器阻力及末級過濾器的阻力(在初阻力時),總共應控制在165Pa左右,以滿足運行時最大阻力在250Pa以內。因此干表冷器的傳熱面積要較大,回風道尺寸亦要較大,多孔地板及格柵等的阻力要小,一般作法是:控制干表冷器阻力在50Pa左右,回風道阻力在15Pa以內,否則就需要再增設加壓風機系統,這就是降低了FFU系統的綜合優點。
(2)采用DC/EC電機后,單位風量的能耗可能比當前一般大型離心風機的集中系統為低,但已有研究指出,比采用改進后的大型軸流風機的回風系統的能耗還是要高。因此需要注意大型軸流風機的效率提高及其系統的阻力降低的因素。
(3)一般FFU系統由于單位風量的能耗較大,因此潔凈室的冷負荷亦相應增加。
3.2.2具體情況下的評價
(1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時,其綜合經濟性一般往往可取。
(2)潔凈度要求嚴的潔凈室,末級過濾器滿布率100%時,對大的系統采用FFU,當前還是不經濟的;對小系統有意義作具體比較。
(3)對潔凈度要求不甚嚴的潔凈室,末級過濾器滿布率≤40%時對大系統綜合經濟性往往相差不多,但對IC工廠而言FFU系統的靈活性是重要的,因此當前IC工廠對過濾器滿布率≤40%時,采用FFU系統已經普遍。
四.懸浮分子污染(AMC)
4.1AMC的分類及控制要求情況
AMC作為IC工廠所關心的問題于20年前最先由日本人提出,近年來,IC生產園片直徑已達φ300mm,工藝加工尺寸(線寬)已小于0.15μm,在某些加工工序及工序間園片的傳送和存放環境中AMC已成為嚴重影響成品率的問題,已被清楚的認識到,因此,AMC的控制已由談論轉到需要實施。
對于IC生產,AMC分為A、B、C、D四類,即:
A——酸性物質,如Hcl等;
B——堿性物質,如NH3等;
C——沸點高于室溫能在光潔表面冷凝的物質,主要是碳氫化合物,某些工藝加工環境中的水蒸汽亦需要考慮;
D——摻雜物質,能為園片表面吸附或與表面相互反應的物質,如砷、硼、磷等。
AMC對當前的IC生產其潛在的污染比粒子污染要廣泛多,粒子污染控制只要確定粒徑及個數,但對AMC控制而言,除了受芯片線寬的縮小而變化外,并受工藝、工藝設備、工藝材料及園片傳送系統等的影響,更有甚者用于某一工序的各種工藝材料(化學品、特種氣體等)在很多情況下其微量的分子對下一工序往往可能是污染物,而園片加工工序當前已多于300多個獨立工序,對AMC控制指標的確定更是復雜。因此,IC生產對AMC的控制,對不同的產品、不同的工藝、不同的工序及不同的工藝材料會有不同的要求,對各種污染物質的要求當前總的說法是控制在亞pptm~1000pptm間。
4.2AMC控制的實施情況
對線寬0.25μm的IC生產,一般已常在新風處理中設活性炭過濾器;有關關鍵工序以及工序間園片的傳送及存放,有的生產廠采取了AMC控制,有的生產廠則并未進行控制,主要在于經濟效果的衡量上,有關具體控制要求及措施報道甚少見,可能是由于保密的原因,但一點可以肯定,只能在局部環境內進行控制。
為滿足φ300mm園片,<0.15mm線寬的加工要求,近年來對AMC控制,重點在以下三方面開展工作:
(1)精確的測量技術及標準測試方法的建立。因為這是掌握AMC控制的基礎,必須先行;
(2)按今后IC的生產要求,生產線的設備采用微環境隔離,各設備間園片的傳送采用前開式標準片盒(FOUPs)系統,對園片進行隔離。因此,早已對設備、FOUPs系統及微環境所用的材料要求不釋放及吸附有關懸浮分子污染物的問題以及對此污染物的去除措施進行研發,并不斷改進中;
(3)控制AMC的過濾器。
近年來尤其是近2~3年來,對控制AMC過濾器的開發及推出有少進展;
A.不釋放AMC物質的HEPA/ULPA;
a.低硼超細玻璃纖維過濾器,現已在亞洲及歐洲的IC廠使用較多;
b.多孔聚四氟乙稀(ePTFE)過濾器,為薄膜結構,價格比a要高出十倍左右。目前使用尚不多,正在開發下一代的。
B.化學過濾器
目前已推出的化學過濾器主要是:
a.活性炭過濾器,大多數是晶粒狀的,有盤片式、蜂窩式等;亦已有活性炭纖維過濾器,具有吸附速度快的特點,價格尚較高;還已有晶粒與纖維粘合的過濾器。
b無紡合成織物上浸漬各種功能晶粒(如活性炭、活性鋁,但主要是活性炭)以吸附AMC物質。
至今,據報道,φ300mm園片加工除二條試驗生產線外,已有四條生產線(德國一條、美國一條、我國臺灣二條)開始運轉,對AMC的控制情況,當然不詳,但潔凈室環境為ISO5~6級,對潔凈室設計較簡單些。可以看到,今后IC生產,其生產環境的污染控制重點必然轉到工藝設備及園片傳、存放系統的研發及制造上。
潔凈室潔凈棚PM25檢測儀檢測儀PM25濃度檢測儀PM25檢測儀價格
美女视频黄的免费
|
国产黄色观看
|
精品久久久久久久久久
|
999午夜|
国产精品免费观看视频
|
亚洲av日韩精品久久久久久久
|
欧美一级片免费观看
|
久久国产网
|
国产又爽又黄游戏
|
国产sm网站|
三级亚洲
|
午夜少妇久久久久久久久
|
毛片啪啪啪|
日本乱偷人妻中文字幕在线
|
亚洲精品国产精品乱码桃花
|
口述3p做爰全过程
|
亚洲先锋影音
|
天天躁日日躁狠狠躁av麻豆男男
|
91欧美在线
|
午夜精品久久久久久久99黑人
|
无码人妻精品一区二区三区99日韩
|
中文天堂在线资源
|
久久久久久久久久影视
|
久久久婷
|
欧美高清不卡
|
日本美女一区二区三区
|
亚洲美女久久久
|
视频免费1区二区三区
|
视频黄页在线观看
|
欧美怡红院一区二区三区
|
黄色一级片
|
久久久精品人妻无码专区
|
欧美三级欧美成人高清
|
污污视频在线免费看
|
黄色操人视频
|
亚洲一二三四
|
国产精品无码乱伦
|
国产精品女教师
|
91在线观看网站
|
免费看爱爱视频
|
久草视频在
|
我们的2018在线观看免费高清
|
欧美成人秋霞久久aa片
|
日日插插|
欧美亚洲一区二区在线观看
|
丰满熟妇乱又伦
|
亚洲男人天堂
|
欧美成人黄色小说
|
超碰人人人人
|
美女操出白浆
|
91视频精选
|
国产一级二级三级在线
|
女同性69囗交
|
好色艳妇小说
|
欧美日韩国产激情
|
国产精品久久久久久久久久久久
|
av片在线免费看
|
爱欲av|
亚洲成年人影院
|
熟女国产精品一区二区三
|
亚洲理论片在线观看
|
国产粉嫩呻吟一区二区三区
|
久久久久久久久97
|
亚洲小视频在线观看
|
精品午夜一区二区三区
|
国产精品久久中文字幕
|
av在线影片
|
精品久久久久久中文字幕人妻最新
|
精品久久久久久久久久久aⅴ
|
岛国二区三区
|
在线免费福利视频
|
美女福利在线视频
|
超碰av在线播放
|
mm1313亚洲国产精品美女
|
亚洲国产一区二区三区在线观看
|
免费毛片在线
|
av不卡影院
|
亚洲国产aⅴ精品一区二区的游戏
|
日韩精品久久久久久久的张开腿让
|
小镇姑娘高清播放视频
|
91精品久久久久久
|
亚洲理论片
|
69日本xxxxxxxx96|
国产精品久久久久久久久免费软件
|
久久888|
欧美在线观看视频一区
|
国产一区二区三区免费观看
|
69网址
|
亚洲乱码国产乱码精品精大量
|
久久羞羞|
高跟91白丝
|
在线免费成人
|
亚洲视频在线视频
|
精品人妻一区二
|
国产一区不卡在线
|
啪啪在线观看
|
天天天色|
亚洲少妇第一页
|
亚洲色图 欧美
|
久久久久亚洲av成人网人人软件
|
伦hdwww日本bbw另类
|
中文字字幕第183页
国产夜夜操
|
日韩欧美一区二区三区在线
|
91吃瓜今日吃瓜入口
|
日本一级三级三级三级
|
老男人av|
九九黄色|
欧美成人一区二区视频
|
欧美性生交xxxxxdddd
|
,亚洲人成毛片在线播放
|
麻豆亚洲精品
|
欧美99|
欧美激情校园春色
|
亚洲av永久无码精品国产精品
|
亚洲精品久久久久久久久久吃药
|
国产精品午夜无码专区
|
国产特级片
|
欧美一区国产一区
|
久久婷婷成人综合色
|
午夜网站在线
|
精品国产乱码久久久久久影片
|
久久av网站
|
哺乳喂奶一二三区乳
|
亚洲精品成人在线视频
|
国产视频精品一区二区三区
|
亚洲xx在线
|
成人在线影视
|
国产精品igao视频
|
青青草国产一区
|
精品视频999
|
欧美精品黄色
|
爽好多水快深点欧美视频
|
91禁看片|
三级网站免费观看
|
国内成人精品
|
秋霞无码一区二区
|
激情福利网
|
天堂欧美城网站网址
|
一区二区在线观看免费
|
久久人人爽人人爽人人片av免费
|
自拍偷拍国产
|
久久久久久黄色片
|
九九精品在线观看视频
|
午夜影院免费体验区
|
日本免费毛片
|
韩国美女av
|
午夜精品福利电影
|
av手机天堂网
|
中文字幕22页
|
欧美精品一区二区三区在线播放
|
久久久电影
|
牛牛视频在线
|
欧美三级韩国三级日本三斤在线观看
|
美女扣逼喷水视频
|
国产乱淫av麻豆国产免费
|
国产无套精品一区二区
|
国产综合内射日韩久
|
日韩丝袜一区
|
小少妇哺乳喂奶播放
|
午夜资源|
狠狠操中文字幕
|
国产精品熟妇人妻g奶一区
影音先锋黑人
|
亚洲一区二区三区久久久
|
日本精品一区二区三区视频
|
深夜成人福利视频
|
床戏高潮做进去大尺度视频
|
国产精品伦理一区
|
激情 亚洲
|
免费a级大片
|
日本成人福利视频
|
成人精品免费看
|
在线不卡毛片
|
日韩大尺度在线观看
|
精品电影在线观看
|
男人在线天堂
|
成人做受视频试看60秒
|
五月婷婷国产
|
在线观看黄网址
|
人人干视频
|
久草免费在线观看
|
三级黄网|
能在线观看的av网站
|
美女狂揉羞羞的视频
|
免费看爱爱视频
|
污污视频在线
|
久久国产三级
|
艳妇乳肉豪妇荡乳av无码福利
|
欧美日韩综合在线
|
一区二区三区四区免费
|
国产免费毛卡片
|
成人黄色大片在线观看
|
欧美少妇15p|
美女扒开腿男人爽桶
|
女女综合网
|
免费av网址大全
|
特级淫片裸体免费看冫
|
国产日韩精品一区二区
|
一个人看的毛片
|
国产无遮挡aaa片爽爽
|
欧美日韩一区二区在线视频
|
蜜臀av免费一区二区三区水牛
|
www.色日本
|
动漫裸体无遮挡
|
国产美女精品久久
|
综合热久久
|
亚洲午夜精品一区二区三区
|
h网站在线播放
|
久久精品视频6
|
性欧美一区
|
日韩一区二区三区视频在线观看
|
亚洲人成免费
|
黄色91在线观看
|
97久久国产精品
|
午夜精品亚洲
|
av2018|
国产精品久久综合视频
|
91高清在线免费观看
|
色婷婷激情五月
|
91全免费
|
日韩成人性视频
|
草莓巧克力香氛动漫的观看方法
|
亚洲欧美激情精品一区二区
|
韩国伦理片在线播放
|
日本熟妇乱子伦xxxx
|
欧美五月婷婷
|
日韩一区精品
|
69天堂|
国产熟女一区二区三区四区
|
午夜视频精品
|
95在线视频|
一区二区在线视频免费观看
|
在线视频 91|
欧美精品日韩少妇
|
男人女人拔萝卜视频
|
尹人av|
久久免费片|
中文字幕一区二区三区免费
|
黄色高清视频
|
黄色永久视频
|
丰满少妇理论片
|
国产大片网站
|
一区二区欧美精品
|
特级黄色录像
|
久久久久国色av免费观看性色
|
黄色三级在线播放
|
国模大尺度视频
|
亚洲婷婷久久综合
|
aaa亚洲精品
|
欲求不满在线小早川怜子
|
波波野结衣
|
麻豆av一区二区三区久久
|
天天干天天舔天天操
|
黄色小视频免费
|
苍井空亚洲精品aa片在线播放
|
亚洲男女视频在线观看
|
午夜影院美女
|
国产精品成人免费一区二区视频
|
国产美女av
|
国产欧美精品一区二区在线播放
|
国产ts三人妖大战直男
|
闫嫩的18sex少妇hd
|
69性视频
|
一级免费观看
|
国产乱码精品一区二区三区忘忧草
|
91免费国产在线
|
成人av在线播放网站
|
不卡视频在线播放
|
国产精品丝袜视频无码一区69
|
在线综合色
|
国内外成人在线视频
|
影音先锋制服
|
国产伦精品一区二区三区高清版
|
草在线视频
|
免费观看黄色
|
欧美日韩在线一区二区
|
国产精品无码一区二区三区免费
|
国产成人久久
|
国产欧美久久久久
|
91精品看片
|
国产精品成人3p一区二区三区
|
九九在线观看免费高清版
|
性爱视频日本
|
国内精品久久久久久久久久久
|
爱爱视频网站免费
|
国产亚洲福利
|
国产成年人免费视频
|
欧美黑人一级片
|
av在线小说
|
天堂草在线观看
|
视频一区二区在线观看
|
黄色1级大片|
中文字幕一区二区久久人妻
|
精品久草|
韩国不卡av|
亚洲精品乱码久久久久久久久久久久
|
噼里啪啦国语版在线观看
|
中文字幕影片免费在线观看
|
国产麻豆成人传媒免费观看
|
图片区偷拍区小说区
|
国产超碰人人模人人爽人人添
|
美女久久久久
|
手机版av
|
久久精品九九
|
久久久永久久久人妻精品麻豆
|
女人十八岁毛片
|
少妇媚药按摩中文字幕
|
久久久久久久久电影
|
国产一区一一区高清不卡
|
日本精品视频一区
|
人妻熟女一区二区三区
|
福利一区三区
|
黄色特级毛片
|
日韩视频在线观看免费视频
|
亚洲福利片
|
免费无码国产精品
|
99久久夜色精品国产亚洲
|
久久大陆
|
日韩欧美无
|
亚洲精品影院在线
|
一区二区三区亚洲视频
|
黄瓜污视频|
久久9966
|
欧美 日韩 国产 成人 在线
|
国产经典一区二区三区
|
五月天中文字幕在线
|
色交视频
|
欧美 日韩 国产 一区
|
91操操操
|
人人舔人人爽
|
亚洲综合一区在线观看
|
吃奶av|
日韩黄色小视频
|
深夜在线免费视频
|
娇小tube性极品娇小
|
日韩有色
|
天天操夜夜操狠狠操
|
老司机午夜av|
天天干精品
|
久色电影|
麻豆md0077饥渴少妇
|
欧美aⅴ在线
|
深夜福利视频导航
|
欧美一区二区三区网站
|
免费的黄色网址
|