塵埃粒子計(jì)數(shù)器校正的基本步驟解說
標(biāo)準(zhǔn)粒子通過255粒子產(chǎn)生器由液狀霧化成氣體,并由其內(nèi)置泵通過0.2um的過濾器后的干燥氣體進(jìn)入取樣管路,這時(shí),將兩臺相同塵埃粒子計(jì)數(shù)器同時(shí)或先后對取樣管進(jìn)行抽樣測試,并比校0.3um粒徑的測試值。如果其平均值在20%以內(nèi),認(rèn)為合格。如果不同型號的粒子計(jì)數(shù)器,一定要弄清楚其流速,取樣時(shí)間,取樣次數(shù)等參數(shù),并且,還要明白怎樣理解其測試結(jié)果。
校正的基本步驟:
現(xiàn)假設(shè)對一臺常見的Royco HH200作校正
1、首先,要清楚Royco 323和HH200A有何差別,其測試原理一樣,但Royco 323流速為1CFM(立方英尺/分鐘),而Royco HH200則為0.1CFM。
2、將潔凈臺開機(jī),工作半小時(shí),其間內(nèi)也打開Royco 323和Royco HH200,讓其預(yù)熱半小時(shí)。
3、準(zhǔn)備好255的取樣器管,并搭接好其所有氣體管路。
4、將配好的標(biāo)準(zhǔn)液(如0.301um)放入脫原子瓶中,注意勿讓液體超過噴嘴。
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