潔凈室的術語說明詳細介紹

2015-02-04 16:21:59 admin

潔凈室的術語說明詳細介紹

術語

2.0.1 潔凈室（區） clean room(zone)
空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產生及滯留粒子。室內其它有關參數和溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。
2.0.2 懸浮粒子 airborne particles
用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1μm～5μm的固體和液體粒子。
1 粒徑miacropartical size
由給定的粒子尺寸測定儀回應當量于被測粒子等效的球體直徑。對離散粒子計數、光散射儀器采用當量光學直徑。
2 超微粒子 ultrafine particle
當量直徑<0.1μm的粒子。
3 宏粒子 micro particle
當量直徑>0.5μm的粒子。
4 粒徑分布 particle size distribution
粒子粒徑頻率分布和累積分布，是粒徑的函數。
5 含塵濃度 particle concentration
單位體積空氣中懸浮粒子的顆數。
2.0.3 潔凈度 cleanliness
以單位體積空氣中某粒子的數量來區分的潔凈程度。
2.0.4 占用狀態 occupancy states
1 空態 as-built
設施已經建成，所有動力接通并運行，但無生產設備、材料及人員。
2 靜態 at-rest
設施已經建成，生產設備已經安裝，按業主及供應商商定的狀態運行，但無生產人員。
3 動態 operational
設施以規定的狀態運行，有規定的人員在場，并在商定的狀態下進行工作。
2.0.5 氣流流型 air pattern
室內空氣的流動形態和分布。
2.0.6 單向流 unidirectional airflow
沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風速一致的氣流。
2.0.7 非單向流 non-unidirectional airflow
不符合單向流定義的氣流。
2.0.8 混合流 mixed airflow
單向流和非單向流組合的氣流。
2.0.9 潔凈工作區 clean working area
指潔凈室內離地面高度0.8-1.5m（除工藝特殊要求外）的區域。
2.0.10 空氣吹淋室 airshower
      利用潔凈氣流吹落并清除進入潔凈室人員或物料表面附著粒子的小室。
2.0.11 氣閘室 airlock
設置在潔凈室出入口，為阻隔室外或相鄰房間的污染氣流和壓差控制而設置的緩沖間。
2.0.12 傳遞窗    passbox
      在潔凈室隔墻上設置的傳遞物料和工器具的窗口。兩側窗扇的開啟應進行聯鎖控制。
2.0.14 高效空氣過濾器 HEPA（high efficiency particulate air filter）
      在額定風量下，對粒徑大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及氣流初阻力在250Pa以下的空氣過濾器。
2.0.15 風機過濾器機組（FFU） Fan Filter Unit
      由高效空氣過濾器（HEPA）或超高效空氣過濾器（ULPA）與風機組合在一起，構成自身可提供動力的末端空氣凈化裝置。
2.0.16 過濾器安裝后檢漏 installed filter leakage test
檢查空氣過濾器及其與安裝框架連接部位等沒有缺陷和泄漏。
2.0.17 漏風量 air system leakage ratio
      風管系統中，在某一靜壓下通過風管，附件及其接口，單位時間內泄漏或滲入的空氣體積量。
2.0.18 漏光檢測 air leak cheek with lighting
采用強光源對風管的咬口、接縫、法蘭及其連接處進行透光檢查，確定孔洞、縫隙等滲漏部位及數量的方法。
2.0.19 自凈時間 cleanliness recovery characteristic
      潔凈室被污染后，凈化空調系統開始運行至恢復到穩定的規定室內潔凈度等級的時間。
2.0.20 純水 purify water
雜質含量很少的水，其電解質雜質含量（常以電阻率表征）和非電解質雜質（如微粒、有機物、細菌和溶解氣體等）含量均要求很少的水。
2.0.21 常用氣體 Bulk gas
指電子產品生產過程中廣泛使用的氫氣、氧氣、氮氣、氬氣、氦氣等氣體。
2.0.22 特種氣體 special gas
指電子產品生產過程中使用的硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷、四氯化硅、氯氣等氣體。這些氣體具有可燃、有毒、腐蝕或窒息等特性。
2.0.23 化學品 chemical
      指電子產品生產過程中使用的酸、堿、有機溶劑、有機物質和氧化物等。
2.0.24 配管 piping
潔凈廠房中，用以輸送、分配工藝用水、純水、各類氣體、化學品等的管路系統的管子、附件、管件、法蘭、螺栓連接件、墊片、閥門和其他組成件的組裝總成。
2.0.25 熱彎 hot bending
溫度高于金屬臨界點AC1時的彎管作業。